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v干膜光致抗蚀剂的结构
干膜光致抗蚀剂由聚酯薄膜，光致抗蚀剂膜及聚乙烯保护膜三部分组成。 聚酯薄膜是支撑感光胶层的载体，使之涂布成膜，厚度通常为25μm左右。聚酯薄膜在曝
光之后显影之前除去，防止曝光时氧气向抗蚀剂层扩散，电子尺电阻带，破坏游离基，引起感光度下降。 聚乙烯膜是复盖在感光胶层上的保护膜，防止灰尘等污物粘污干膜，避免在卷膜时，每层
抗蚀剂膜之间相互粘连。聚乙烯膜一般厚度为25μm左右。
光致抗蚀剂膜为干膜的主体，多为负性感光材料，功能电阻带，其厚度视其用途不同，有若干种规格，浙江电阻带，最薄的可以是十几个微米，最厚的可达100μm。
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干膜光致抗蚀剂的制作是先把预先配制好的感光胶在高清洁度的条件下，在高精度的涂 布机上涂覆于聚酯薄膜上，经烘道干燥并冷却后，覆上聚乙烯保护膜，卷绕在一个辊芯上。
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v★光致抗蚀剂膜层的主要成分及作用
：我国大量用于生产的是全水溶性干膜，这里介绍的是全水溶性干膜感光胶层的组成。
厚膜浆料尽管种类很多，但最主要的有代表性的仍是导体、电阻和介质三种浆料。
浆料制备：根据不同浆料的配方和组成进行称量、均匀混合后加入适量有机载体，使粉料均匀分散于载体中，电位计电阻带，再进行研磨和辊轧便可得粉料分散、混合均匀的厚膜浆料。
2.丝网印刷：一般在印刷机上进行。把尼龙或不锈钢丝编织成的丝网绷在框架上，再将掩模贴上（或直接在丝网上制作乳胶掩模），便可进行印刷。
3.烧结：也叫烧成（二者不完全相同），分为三个阶段：升温、保温（烧结温度下）、降温。
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