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一、厚膜混合集成电路
在绝缘基板上(通常为陶瓷)用厚膜技术制作出无源元件及其互联线,再采用厚膜组装技术组装上半导体有源器件、IC芯片和其它无源器件(如薄膜电阻或多层陶瓷电容器)组成具有一定功能的混合微电路——厚膜混合集成电路。 “混合”是因为它们在一种结构内组合两种不同的工艺技术:半导体技术 (如:有源芯片器件)和厚膜技术(成批制造的无源元件)。
v概述
:干膜光致抗蚀剂产生于1968年,而在七十年代初发展起来的i种感光材料,我国于七十
年代中期开始干膜的研制和应用,至今已有几种产品用于印制电路板生产,由于干膜具有良好的工艺性能、优良的成像性和耐化学药品的性能,在图形电镀工艺中,它对于制造精密细导线、
提高生产率、简化工序、改善产品质量等方面起到了其它光致抗蚀剂所起不到的作用。应用干膜制造印制板有如下特点:
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1.有较高的分辨率,一般线宽可做到0.1mm;
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2.干膜应用在图形电镀工艺中,电镀加厚在高而垂直的夹壁问进行,在镀层厚度小于 抗 蚀剂厚度时,可以防止产生镀层突延和防止去膜时抗蚀剂嵌入镀层下面,保证线条精度;
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3.干膜的厚度和组成一致,避免成像时的不连续性,可靠性高;
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4.应用干膜,大大简化了印制板制造工序,有利于实现机械化、自动化。
v3.干显影或剥离型干膜
这种干膜不需用任何显影溶剂,而是利用干膜的感光部分与未感光部分对聚酯薄膜表面
和加工工件表面附着力的差别,在从曝光板上撕下聚酷薄膜时,未曝光的不需要的干膜随聚酯 薄膜剥离下来,在加工工件表面留下已曝光的干膜;由此得到所需要的干膜图像。
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根据干膜的用途,可把干膜分为抗蚀干膜、掩孔干膜和阻焊干膜,抗蚀干膜和掩孔干膜用
作制造印制板图像,而阻焊干膜是涂覆在印制板成品板的表面上,有选择地保护印制板表面,
以便在焊接元器件时,防止导线和焊盘问的短路、桥接,它也是印制板表面的性保护层,能
起到防潮、防霉、防盐雾等作用。由于阻焊干膜的成本高,并且在应用中需要昂贵的真空贴膜 设备,因而被近年来飞速发展的液体感光阻焊剂所代替。
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