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厚膜电路是指在同一基片上采用阵膜工艺(丝网漏印、烧结和电镀等)制作无源网络并组装上分立的半导体器件、单片集成电路或微型元件而构成的集成电路。通常认为厚度为几微米至几十微米的膜为厚膜,制作厚膜的材料为导体、电阻、介质、绝缘和包封等五种浆料电阻片产品特性:
●工作溫度範圍:–40℃~125℃;
●基片材料:96%AL2O3陶瓷基片、聚酰薄膜、環氧PCB板、耐塑料PVC;
●導體材料:Ag/Pd,導性能好,可耐焊性能優越;
●阻體材料:導材料,耐磨性能好;
●耐磨指標:500萬次(銀鎘觸點或不繡、接觸壓力爲0.15±0.05N);
常用的激光调阻机方法有喷砂、激光和电压脉冲调整:
喷砂调阻:
通过喷射砂流对电阻基片进行打磨,使电阻浆料层受磨损,从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度,而达到一定要求的阻值。是一种常规的调阻方案。
喷砂调阻机设备价格较低,但调阻精度不易控制,速度较慢,不易于自动化及批量生产。
激光调阻:
通过短脉冲激光扫描切割电阻基片,使电阻浆料层受激光加热气化,形成一定深度的刻痕,从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度,达到把低于目标阻值的电阻体修调到阻值允许的偏差范围内,适用于片状电阻的快速大规模生产。
激光调阻机价格较高,精度易控制,速度较快,且易于自动化及批量生产,且能完成电路的功能调阻,目前是调阻的主流工艺。
激光精密加工在诸如薄膜电路的功能微调、压电石英谐振腔和单层滤波器的微调、光掩膜的修正、具有分布参数的超高频电路的微调、光学度盘和分划板的刻制等工业领域将得到越来越广泛的应用。
厚膜电阻主要是指采用厚膜工艺印刷而成的电阻。这种电阻有长方形,带型,曲线形或者是其他的形状。常用在精密电阻,功率电阻的制造中。
常用的厚膜电阻采用金属钌(liao二声)系电阻浆料印刷烧结而成。电阻浆料包含氧化钌,和玻璃珠,烧结后的电阻由两方面组成:氧化钌本身的电阻和势垒电阻
现在市面上有厚膜加热器,等等。
厚膜混合集成电路工艺常用在功率电路、环境苛刻等使用中。
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