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单片集成电路工艺
利用研磨、抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、蒸发等一整套平面工艺技术,在一小块硅单晶片上同时制造晶体管、二极管、电阻和电容等元件,并且采用一定的隔离技术使各元件在电性能上互相隔离。然后在硅片表面蒸发铝层并用光刻技术刻蚀成互连图形,使元件按需要互连成完整电路,制成半导体单片集成电路。随着单片集成电路从小、中规模发展到大规模、超大规模集成电路,平面工艺技术也随之得到发展。例如,扩散掺杂改用离子注入掺杂工艺;紫外光常规光刻发展到一整套微细加工技术,如采用电子束曝光制版、等离子刻蚀、反应离子铣等;外延生长又采用超高真空分子束外延技术;采用化学汽相淀积工艺制造多晶硅、二氧化硅和表面钝化薄膜;互连细线除采用铝或金以外,还采用了化学汽相淀积重掺杂多晶硅薄膜和硅化物薄膜,以及多层互连结构等工艺。
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陶瓷电加热器主要有二种:一种是将发热丝穿过专门设计的耐高温陶瓷瓷砖,精密延伸构成,可弯曲,外部包以金属外壳而成并加隔热层。例如:陶瓷加热圈、履带式加热板;一种是将发热丝浇注于二氧化硅为原料的石英陶瓷中,例如:陶瓷加热板。陶瓷电加热器具有工作使用寿命长、绝缘性能良好、耐高压、防腐蚀、节约能源、安装简便、耐高温、传热快、散热均匀、无污染、制作不受型号和规格大小的限制等优点。
佛山市南海厚博电子技术有限公司,位于广东省佛山市,现有办公场地和生产厂房面积约1200平方米,拥有员工50多名。是一家集开发、生产、销售为一体的高新技术企业。
公司致力于厚膜混合集成电路产品的设计开发、制造、销售,并为客户订制设计,提供厚膜电路产品的解决方案。公司目前已开发了应用于汽车电子、工控、家电、照明、等用途的系列厚膜产品。其中,主导产品汽车(摩托车)节气门位置传感器厚膜电路板的生产能力已超过100万片/年。产销量位居国内前茅,产品应用于BYD汽车、长安汽车、哈飞汽车、海马、奇瑞汽车、吉利汽车等国内自有品牌汽车企业,是中国大陆较专业的车用传感器厚膜电路板生产厂家。
厚膜技术是集电子材料、多层布线技术、表面微组装及平面集成技术于一体的微电子技术。在满足大部分电子封装和互连要求方面,厚膜技术已历史悠久。
厚膜技术是集电子材料、多层布线技术、表面微组装及平面集成技术于一体的微电子技术。在满足大部分电子封装和互连要求方面,厚膜技术已历史悠久。特别是在高可靠小批量的、航空航天产品以及大批量工业用便携式无线产品中,该技术都发挥出了显著的优势。厚膜材料是有机介质掺入微细金属粉、玻璃粉或陶瓷粉末的混合物,油位电阻片生产,通过丝网印刷工艺,印制到绝缘基板上。无机相的选择可确定厚膜成分的功能性,金属或金属合金无机相组成导体,金属合金或钉系化合物组成厚膜电阻。
在微电子领域中,用厚膜技术和薄膜技术都可以在基板上形成导体,电阻和各类介质膜层。但这两者不仅膜层的厚度不同,成膜的方式也相去甚远。
典型厚膜元件的厚度为0.5 至1 密耳 (即12.7~24.5μm) 或更厚一些,而薄膜元件的膜层一般小于1μm,作为导带还可薄至3 nm左右,薄膜技术主要采用蒸发和溅射工艺成膜。
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