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单片集成电路工艺
利用研磨、抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、蒸发等一整套平面工艺技术,在一小块硅单晶片上同时制造晶体管、二极管、电阻和电容等元件,并且采用一定的隔离技术使各元件在电性能上互相隔离。然后在硅片表面蒸发铝层并用光刻技术刻蚀成互连图形,使元件按需要互连成完整电路,制成半导体单片集成电路。随着单片集成电路从小、中规模发展到大规模、超大规模集成电路,平面工艺技术也随之得到发展。例如,扩散掺杂改用离子注入掺杂工艺;紫外光常规光刻发展到一整套微细加工技术,如采用电子束曝光制版、等离子刻蚀、反应离子铣等;外延生长又采用超高真空分子束外延技术;采用化学汽相淀积工艺制造多晶硅、二氧化硅和表面钝化薄膜;互连细线除采用铝或金以外,还采用了化学汽相淀积重掺杂多晶硅薄膜和硅化物薄膜,以及多层互连结构等工艺。
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陶瓷加热片有热阻小、换热的优点,是一种自动恒温、省电的电加热器。它的一大突出特点在于安全性能上,任何应用情况下均不会产生如电热管类加热器的表面“发红”现象,从而引起火灾等安全隐患。 显着的特点是:
1.陶瓷加热片(PCT)省成本,长寿命。
不需要专门的温控器和热电阻热电偶等温度传感器进行温度反馈即能对加热器进行发热控制,它的温度调节是靠自身的材料特性,从而使产品具有远大于其它加热器的使用寿命。
2.陶瓷加热片(PCT)安全,绿色环保。
加热器本体的设计加热温度在200摄氏度以下的多档次,任何情况下本 体均不发红且有保护隔离层,任何应用场合均不需要石棉等隔热材料进 行降温处理,可放心使用不存在引发火灾的问题。
3.陶瓷加热片(PTC)节约电能。 比较电热管和电阻丝加热产品,本产品是靠材料自身的特性,根据环境温度的改变来调节自身的热功率输出,所以它能将加热器的电能消耗优化控制在很小,同时高发热效率的材料也大幅提升了电能的利用效率。
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集成电路工艺(integrated circuit technique )是把电路所需要的晶体管、二极管、电阻器和电容器等元件用一定工艺方式制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬底上,厚膜电阻片销售,再用适当的工艺进行互连,然后封装在一个管壳内,使整个电路的体积大大缩小,引出线和焊接点的数目也大为减少。集成的设想出现在50年代末和60年代初,是采用硅平面技术和薄膜与厚膜技术来实现的。电子集成技术按工艺方法分为以硅平面工艺为基础的单片集成电路、以薄膜技术为基础的薄膜集成电路和以丝网印刷技术为基础的厚膜集成电路。
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